X熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X熒光光譜儀能將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

X熒光光譜儀是一種無損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

X熒光光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應(yīng)用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側(cè)技能的一個主要使用范疇，X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。

X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器，X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

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