ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.

ICP光譜儀儀器特點：進樣系統具有、穩定的進樣系統。通過不斷地形成大小一致的液滴，eNeb選件可令Optima提供的穩定性和無可比擬的檢出限，非常適用于環境和制劑實驗室。有的RF發生器采用免維護的等離子體感應板，替代傳統的螺旋負載線圈。無需冷卻，氬耗降低，操作成本大大降低。

電感耦合等離子體發射光譜儀具有自主封裝技術的高速 CCD 數采系統，可以對紡織品、玩具、催化劑、石油等各種樣品進行無機元素分析。

電感耦合等離子體發射光譜儀可以進行冶金礦業中雜質元素和主量元素的含量分析。

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